Des étalons à l’échelle nanométrique pour les microscopes AFM et MEB
Le Laboratoire national de métrologie et d’essais et le Centre de nanosciences et de nanotechnologies ont développé un prototype d’étalon de transfert à l’échelle nanométrique qui permet d’étalonner des microscopes à force atomique et des microscopes électroniques à balayage par rapport au mètre du Système international d’unités. Un lien indispensable pour effectuer des mesures dimensionnelles fiables et comparables.
Les nanotechnologies permettent de doter des matériaux de nouvelles propriétés mécaniques, électriques ou optiques. Pour les nombreux laboratoires qui y travaillent, dans la recherche comme dans l’industrie, il est nécessaire de corréler ces propriétés, qui n’apparaissent qu’à cette échelle, avec des mesures dimensionnelles fiables. Et pour que ces données soient comparables, il est indispensable d’établir un lien entre les mesures réalisées à l’échelle du nanomètre et la référence absolue dans ce domaine, à savoir la définition du mètre dans le Système international d’unités (SI).